据国外媒体报道，作为全球唯一可以向芯片制造商供应极紫外光刻机的制造商，ASML已经推出了几款极紫外光刻机，如TWINSCAN NXE:3400C和TWINSCAN NXE:3600D，并持续向TSMC和三星电子等客户交付。
除了TWINSCAN NXE系列极紫外光刻机，ASML还在开发高数值孔径极紫外光刻机，以应对更先进的2nm及以下工艺技术。
对于高数值孔径极紫外光刻机，ASML首席执行官兼总裁彼得·维尼克本周在韩国首尔的新闻发布会上透露，将于2024年开始发货，每台价格为3亿至3.5亿欧元。
就Peter Wienicke透露的价格来看，高数值孔径极紫外光刻机的价格远高于他们目前交付的TWINSCAN NXE系列极紫外光刻机。
根据ASML的财务报告，他们在今年第二和第三季度交付了12台极紫外光刻机按照他们的营收和占比，第二季度每台机器的均价约为1.66亿欧元，第三季度均价约为1.81亿欧元，均在2亿欧元以下